臭氧分析仪主要由低压紫外灯、入射紫外光反射器、光波过滤器、臭氧吸收池、采样光电传感器、样品光电传感器、输出显示、电路部件构成。是根据Lambert and Beer定律推出的。在这个臭氧浓度计算公式中，只要知道样品电流、采样电流和臭氧吸收池距离，那么我们可以计算出臭氧浓度大小。由于臭氧吸收池的距离的限制，大臭氧浓度只能测到300 O3 g/m。
臭氧分析仪的工作原理时通过空气样品以恒定的流速进入仪器的气路系统时，样品空气交替地或直接进入吸收池或经过臭氧涤除器再进入吸收池，此时臭氧对254nm波长的紫外光有特征吸收。当零空气样品通过吸收池时被光度检测器测定的光强度为I0；那么含臭氧的空气样品通过吸收池时，被光度检测器测定的光强度为I。如此每经过一个周期，仪器的数据处理系统根据朗伯-比尔定律求出臭氧的浓度。
臭氧分析仪检测步骤：
1.开启空调；确认风管有风吹入洁净空间；
2.给臭氧发生器通入冷却水；确定臭氧出气口已用管道导入空调送风或回风管道；然后开启臭氧发生器；正常开机时间一般为1小时。
3.臭氧浓度检测仪的开机方法是：长按⊙健（约5秒钟）；有显示后放开；暖机时间为120秒；过了暖机时间可以检测空气中的臭氧浓度；臭氧浓度以数字形式显示在检测仪的显示板上。臭氧浓度超过20ppm时臭氧分析仪会报警并闪光；大量程是100ppm
4.一般建议按时间段进入洁净区检测臭氧浓度；
臭氧发生器工作30分钟后检测；
臭氧发生器工作60分钟后检测；
如有必要则90分钟及120分钟再各检测；
一般臭氧发生器工作30分钟后能马上检测到臭氧浓度；
工常工作时间为1小时；
如果检测不到臭氧浓度或偏低则要检测臭氧是否有导入管道内或者臭氧是否有漏泄；
如果臭氧有漏泄则会导致臭氧浓度偏低；
如果检测空气中臭氧浓度过高则控制好的时间即可。
