半导体环境露点仪是半导体制造中不可少的湿度监测设备，其核心功能是通过精准测量气体或环境中的露点温度（即水汽达到饱和凝结的温度），确保生产环境与工艺气体的干燥度符合严苛标准。多采用冷镜式或电容式传感器技术。冷镜式通过半导体热电堆制冷镜面，当水汽在镜面凝结时，利用光反射变化触发信号，精确测定露点温度，精度可达±0.1℃。
第一步：使用前准备
检查安装环境：
确认安装位置符合要求：避免阳光直射、剧烈振动、电磁干扰和极d温度。
确保安装在工艺气体管道或洁净室气流的代表性位置，远离阀门、弯头等可能产生涡流或死区的地方。
检查管路连接：
使用洁净、干燥的316L不锈钢管道或专用的洁净级塑料管（如PVDF）连接仪器。
确保管路密封良好，无泄漏。所有接头应使用合适的密封件（如金属垫圈）。
建议在仪器前安装过滤器（如0.01μm级）以去除颗粒物和油雾，保护传感器。
检查电源与信号线：
确认电源电压（如24V DC）符合仪器要求。
检查接地线是否连接牢固可靠。
如需数据传输，确认通信线缆（如RS-485、以太网）连接正确。
第二步：通电预热
接通电源：
打开电源开关，为仪器供电。
预热：
仪器需要充分预热（通常为30分钟至数小时，具体时间参考说明书），以使传感器和电子元件达到热稳定状态，确保测量精度。
严禁在未预热完成前进行关键测量或校准。
第三步：通气与吹扫
缓慢开启气源：
先打开下游阀门，再缓慢打开上游气源阀门，避免气流冲击损坏传感器。
初始气体流量应控制在仪器推荐范围内（如0.5-2 L/min）。
吹扫管路：
让干燥的工艺气体（如高纯氮气）流经整个管路系统和仪器内部，持续吹扫至少15-30分钟，以置换管路中的湿空气和污染物，确保进入传感器的气体真实反映工艺状态。
第四步：参数设置与查看
进入设置菜单：
通过仪器面板的按键或外部软件进入参数设置界面。
关键参数设置：
测量单位：确认显示单位为露点温度（如℃dew或℉dew）。
报警阈值：根据工艺要求设置高/低露点报警值（如-70°C报警）。
输出信号：配置模拟输出（4-20mA）对应的量程（如-100°C to-40°C露点）。
通信参数：设置通信协议（如Modbus地址、波特率）。
查看实时数据：
观察显示屏上的实时露点读数，待数值稳定后方可用于监控。
第五步：监控与报警响应
持续监控：
定期检查露点读数，确保其在工艺规定的范围内。
报警处理：
当仪器发出报警（声光或继电器信号）时，立即检查：
干燥机、过滤器是否正常工作。
管路是否有泄漏（引入湿气）。
气源质量是否下降。
及时排除故障，恢复系统正常。
第六步：关机与维护
正常关机：
如需关机，先关闭气源阀门，让仪器在断气状态下断电。
或继续通入干燥气体一段时间后再断电，防止湿气进入传感器。
定期维护：
清洁过滤器：定期检查并更换前置过滤器。
校准：根据使用频率和厂家建议（通常每年一次），使用标准湿度发生器进行校准，确保测量准确性。
检查管路：定期检查管路是否有泄漏、堵塞或污染。
