半导体环境露点仪是一种能够直接测出气体中水蒸气露点温度的仪器。其工作原理通常基于冷镜法，即通过一个高度抛光的镜面暴露在待测气体中，并逐渐降低镜面的温度，直到镜面上开始凝结出露滴（或冰晶）的瞬间，此时镜面的温度即为露点温度。露点温度是气体中水蒸气含量达到饱和状态时的温度，是表示气体绝对湿度的一种方式。
半导体环境露点仪的维护保养包括定期清洁、校验以及保持设备干燥等方面的工作，以确保设备的长期稳定性和准确度：
1、定期清洁
露点仪在使用一段时间后可能会因为环境中的尘埃和其他污染物影响其测量精度。建议使用专业的清洁剂或干净的布定期清洗传感器和镜面等关键部件。注意避免过度用力擦拭，防止划伤或留下纤维毛屑。
吸入样本空气的管道也需要保持清洁，以防管道内的杂质吸取或放出水分，造成测量误差。定期检查并清理这些管道，确保畅通无阻。
2、校验
探头在使用一段时间后应进行清洁并进行校验，以保持测量的准确性。建议每一年内进行一次校验，与厂商联系完成此操作。通过校验，可以确保露点仪的读数始终保持在允许的误差范围内。
调节气体流量时，应缓慢打开控制针型阀，使流量指示在0.5-0.6升/分钟。如果流量超过1升/分钟，液晶上会显示超限提示，此时应减小流量至规定值，以避免损坏电子流量传感器。
3、保持干燥
露点仪本身对湿度非常敏感，因此需要保持在干燥的环境中使用和储存。避免在高湿环境下长时间工作，以防止传感器和其他敏感部件受潮。
设备不使用时，应存放在通风良好且干燥的地方，避免因潮湿环境导致的内部元件受潮和腐蚀。
4、电源管理
露点仪使用电池供电时，应在使用一天后及时充电。充电只需将电源线接入220V插座，无需关闭电源开关，仪器会自动开始充电，充电时间通常为5小时以上。这可以确保设备在下一次使用时电量充足，避免因电量不足影响使用。
在充电和存放过程中，还应检查电源线和插头是否有磨损或损坏，以防止漏电或短路事故。
5、系统检查
定期检查取压管路及阀门接头处有无泄漏现象，如有泄漏应及时处理。确保所有连接部位紧固可靠，避免因接口问题导致测量误差。
检查设备及其附件的清洁状态，保持外壳、显示屏和操作按钮的清洁，以便清晰观察参数显示并减少操作失误。
